英特尔首台EUV光刻机已开机就在爱尔兰Fab34工厂

目前，英特尔的第12代和第13代酷睿仍然使用英特尔7工艺，明年的第14代酷睿流星湖将推出英特尔4工艺，这是英特尔首次使用EUV光刻工艺SRAM晶体管规模几乎接近TSMC的3纳米工艺

最近，英特尔宣布了一个重要的里程碑第一台EUV掩模对准器已经打开，并产生13.5纳米波长的光

英特尔的EUV工艺将首先在爱尔兰的Fab34工厂生产第一台EUV光刻机于今年年初到货，但安装过程非常耗时费力以前，只需要18个月的时间来建立制造商和准备设施

整个EUV光刻机由10万多个零件，3000根线缆，4万多个螺丝组成，软管长度超过1英里，安装后还需要复杂的调试过程。

本周，在Fab34工厂，英特尔正式开始生产EUV光刻机经过一系列复杂的操作，25KW激光器成功激发出波长为13.5nm的EUV光，这是产生最先进技术的基础

英特尔表示，这一重要时刻为英特尔4工艺开辟了道路——英特尔CEO基辛格之前多次表示，英特尔4工艺将于2022年底准备就绪，这似乎就是他所说的。

虽然EUV光刻机第一次产生13.5nm波长的光很重要，但距离真正的量产还有一段距离，和前面说的量产有明显的区别。

首款Intel 4是第14代酷睿流星湖处理器除了新技术和新架构，它还将首次采用多芯片集成封装，拥有独立CPU，核显，输入输出等

CPU Tile模块采用Intel 4工艺生产，IOE Tile和SoC Tile模块采用TSMC 6nm工艺生产，Graphics Tile显卡模块采用TSMC 5nm工艺生产，一个Base Tile采用Intel自己的22nm工艺生产。

坏消息是14代酷睿可能只有移动版，2023年桌面处理器会是Raptor Lake—S刷新，也就是13代酷睿马甲。